申報要求

（一）項目申報單位（包括企業(yè)、科研院所、高校、其他事業(yè)單位和行業(yè)組織等）應注重產(chǎn)學研結(jié)合、整合省內(nèi)外優(yōu)勢資源；同時應注重優(yōu)選合作單位，原則上同一項目牽頭單位與參與單位總數(shù)不超過8家（含）。

（二）項目申報單位應在該領域具有顯著優(yōu)勢，具備較強的研究開發(fā)實力或資源整合能力，承擔項目的核心研究組織任務。對企業(yè)牽頭或國家、省實驗室（含分中心）牽頭申報的項目，優(yōu)先予以支持。

（三）項目申報單位應認真做好經(jīng)費預算，按實申報，且應符合申報指南有關(guān)要求。申報項目必須有自籌經(jīng)費投入，企業(yè)牽頭申報的，項目總投入中自籌經(jīng)費原則上不少于70%；非企業(yè)牽頭申報的，項目總投入中自籌經(jīng)費原則上不少于50%。在財政資金分配方面，牽頭單位原則上應分配最大的資金份額。

（四） 省重點領域研發(fā)計劃申報單位總體不受在研項目數(shù)的限項申報約束，但不鼓勵同一研究團隊或同一單位分散力量，在申報同一專題時，同一研究團隊原則上只允許牽頭1項或參與1項，同一法人單位原則上只允許牽頭及參與不超過3項，否則納入科研誠信記錄并進行相應處理。

（五） 項目負責人應起到統(tǒng)籌領導作用，能實質(zhì)性參與項目的組織實施，防止出現(xiàn)拉本領域高端知名專家掛名現(xiàn)象。

（六） 項目內(nèi)容須真實可信，不得夸大自身實力與技術(shù)、經(jīng)濟指標。各申報單位須對申報材料的真實性負責，申報單位和推薦單位要落實《關(guān)于進一步加強科研誠信建設的若干意見》（廳字〔2018〕23號）要求，加強對申報材料審核把關(guān)，杜絕夸大不實，甚至弄虛作假。各申報單位、項目負責人須簽署《申報材料真實性承諾函》（模板可在陽光政務平臺系統(tǒng)下載，須加蓋單位公章）。項目一經(jīng)立項，技術(shù)、產(chǎn)品、經(jīng)濟等考核指標無正當理由不予修改調(diào)整。

（七） 有以下情形之一的項目負責人或申報單位不得進行申報或通過資格審查：

1.項目負責人有廣東省級科技計劃項目3項以上（含3項）未完成結(jié)題或有項目逾期一年未結(jié)題（平臺類、普惠性政策類、后補助類項目除外）；

2.項目負責人有在研廣東省重大科技專項項目、重點領域研發(fā)計劃項目未完成驗收結(jié)題（此類情形下該負責人還可作為參與人員參與項目團隊）；

3.在省級財政專項資金審計、檢查過程中發(fā)現(xiàn)重大違規(guī)行為；

4.同一項目通過變換課題名稱等方式進行多頭或重復申報；

5.項目主要內(nèi)容已由該單位單獨或聯(lián)合其他單位申報并已獲得省科技計劃立項；

6.省內(nèi)單位項目未經(jīng)科技主管部門組織推薦；

7.有尚在懲戒執(zhí)行期內(nèi)的科研嚴重失信行為記錄和相關(guān)社會領域信用“黑名單”記錄；

8.違背科研倫理道德。

（八） 申報項目還須符合申報指南各專題方向的具體申報條件。

評審及立項說明

省重點領域研發(fā)計劃項目由第三方專業(yè)機構(gòu)組織評審，對申報項目的背景、依據(jù)、技術(shù)路線、科研能力、時間進度、經(jīng)費預算、績效目標等進行評審論證，并進行技術(shù)就緒度和知識產(chǎn)權(quán)等專業(yè)化評估：

（一） 技術(shù)就緒度與先進性評估。本專項主要支持技術(shù)就緒度3～6級的項目，項目完成時技術(shù)就緒度一般應達到7～9級，原則上項目完成后技術(shù)就緒度應有3級以上提高（技術(shù)就緒度標準見附件2），各申報單位應在可行性報告中按要求對此進行闡述并提供必要的佐證支撐材料（可行性報告提綱可在陽光政務平臺系統(tǒng)下載）。

（二） 查重及技術(shù)先進性分析。將利用大數(shù)據(jù)分析技術(shù)，對照科技部科技計劃歷年資助項目與廣東省科技計劃歷年資助項目，對擬立項項目進行查重和先進性等分析。

（三） 知識產(chǎn)權(quán)分析評議。項目研究成果一般應有高質(zhì)量的知識產(chǎn)權(quán)，請各申報單位按照高質(zhì)量知識產(chǎn)權(quán)分析評議指引（見附件3）的有關(guān)要求，加強本單位知識產(chǎn)權(quán)管理，提出項目的高質(zhì)量知識產(chǎn)權(quán)目標，并在可行性報告中按要求對此進行闡述并提供必要的佐證支撐材料（可行性報告提綱可在陽光政務平臺系統(tǒng)下載），勿簡單以專利數(shù)量、論文數(shù)量作為項目目標。

擬立項項目按程序?qū)徍藞笈蠹{入項目庫管理，視年度財政預算及項目落地情況分批出庫支持，結(jié)合項目進展分階段撥付財政資金。

同一指南中的同一項目方向（或課題），原則上只支持1項（指南有特殊說明的除外），在申報項目（或課題）評審結(jié)果相近且技術(shù)路線明顯不同時，可予以并行支持。

 申報時間

申報單位網(wǎng)上集中申報時間為2021年7月21日～2021年8月20日17:00，主管部門網(wǎng)上審核推薦截止時間為2021年8月27日17:00。

2021 年度廣東省重點領域研發(fā)計劃“精密儀器設備”重點專項申報指南

為貫徹落實《廣東省人民政府關(guān)于培育發(fā)展戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)業(yè)集群和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群的意見》、《廣東省培育精密儀器設備戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2021-2025 年）》、《廣東省重點領域研發(fā)計劃實施方案》等文件精神，圍繞國家重大科技戰(zhàn)略和廣東產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，加強精密儀器設備領域關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，促進原創(chuàng)性、自主可控的儀器設備研制開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，我省擬啟動實施“精密儀器設備”重點專項。

本專項 2021 年共部署 4 個專題，包括 10 個方向，項目實施周期一般為 3 年左右。專題下每個方向原則上支持 1 個項目，對評審結(jié)果相近且技術(shù)路線明顯不同的同一方向可酌情支持 2 項。同等條件下優(yōu)先立項省市聯(lián)合支持的項目。鼓勵產(chǎn)學研用聯(lián)合申報，鼓勵企業(yè)牽頭承擔項目。一般每個項目參研單位總數(shù)不超過 8 個。專題各方向采用競爭性評審、無償資助方式。

項目驗收時，目標產(chǎn)品應通過第三方測試和可靠性測試，技術(shù)就緒度提高 3 級以上；核心關(guān)鍵部件、技術(shù)、軟件實現(xiàn)自主可控，關(guān)鍵考核指標需提供第三方測試報告。 

專題一、工業(yè)精密儀器設備（專題編號：20210301）

方向 1.1 超分辨率激光暗場成像缺陷檢測設備

研究內(nèi)容：針對復雜圖形晶圓的超分辨率激光暗場成像缺陷檢測設備的工業(yè)需求及國產(chǎn)設備技術(shù)空白的矛盾，開展復雜圖形晶圓的超分辨率激光暗場成像缺陷檢測設備的關(guān)鍵技術(shù)與核心部件研發(fā)，包括大功率深紫外激光器技術(shù)、深紫外多通道激光線掃描技術(shù)、深紫外多通道超分辨率成像技術(shù)、深紫外偏振與空間濾波技術(shù)、深紫外高量子效率成像探測技術(shù)、高速高精度晶圓運動位移臺、高速圖像數(shù)據(jù)處理與自動缺陷識別分類技術(shù)等，獲得實現(xiàn)工程化與產(chǎn)業(yè)化的效果。

考核指標：目標檢測設備空間分辨率≤40 納米；針對300mm 晶圓實現(xiàn)：產(chǎn)率≥10 片晶圓/h；圖像處理速度≥10千兆像素/h；缺陷捕獲率≥80%，致命缺陷捕獲率≥90%，缺陷誤檢率≤10%；正常運行時間（Uptime）≥90%；平均恢復時間（MTTR）≤6 小時。項目完成時目標儀器平均故障間隔時間≥500 小時，技術(shù)就緒度不低于 8 級，驗收時銷售量不少于 2 臺，得到單位示范應用并提供應用報告不少于 2家，獲得國際或國家核心技術(shù)發(fā)明專利授權(quán)不少于 5 件。

資助強度：不超過 2000 萬元/項。

方向 1.2 OLED 宏量噴印同步實時觀測與分析裝置

研究內(nèi)容：針對超高分辨率 OLED 顯示面板噴印制造過程中對宏量高速微液滴噴射與非穩(wěn)態(tài)撞擊、宏量子像素點打印/固化缺陷同步實時觀測與分析的需求，研究宏量微液滴高動態(tài)實時觀測與捕捉、微液滴撞擊像素槽的均勻成膜過程捕獲與分析、宏量子像素點的打印/固化缺陷檢測與分析等關(guān)鍵技術(shù)，研制超高分辨率 OLED 宏量噴印同步實時觀測與分析裝置，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫并進行應用驗證，最終實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標：實時捕捉、觀測百兆級宏量微液滴的體積、速度、輪廓和軌跡，單個噴頭檢測時間≤30 min；可觀測分析多液滴非穩(wěn)態(tài)連續(xù)撞擊子像素槽的成膜過程；面板缺陷：點、線缺陷漏檢率≤0.5%，MURA 檢出率≥85%；可檢測基板尺寸≤200×200 mm。項目完成時目標儀器平均故障間隔時間≥500 小時，技術(shù)就緒度不低于 8 級，牽頭或參與制定國家標準或團體標準（含規(guī)范）不少于 2 件，得到單位示范應用并提供應用報告不少于 2 家，獲得國際或國家核心技術(shù)發(fā)明專利授權(quán)不少于 5 件。

資助強度：不超過 2000 萬元/項。

專題二、人體診療儀器（專題編號：20210302）

方向 2.1 流式細胞分析分選儀

研究內(nèi)容：針對生物醫(yī)學研究和臨床診療需求，開展高通量流式細胞儀設備研究，突破三維流體動力聚焦、微流體單細胞分選、高效細胞富集與無標記回收、單細胞熒光檢測等關(guān)鍵技術(shù)；搭建流式細胞熒光檢測平臺，實現(xiàn)單細胞熒光信號準確解算；研發(fā)三維流式單細胞成像技術(shù)，獲取高速流動的單細胞多色熒光圖像；研發(fā)微流體芯片單細胞分選器，滿足細胞的高通量篩選與富集；開展微流體流式細胞儀工程化研發(fā)并應用示范。為臨床診斷和病理分析提供新的手段和設備，為高通量藥物篩選和細胞生物學研究提供先進平臺。

考核指標：微流體芯片和相應的檢測平臺能夠?qū)崿F(xiàn)不低于 3m/s 的檢測流速、104 個 cell/秒的檢測通量和 2000 cell/秒的分選通量；流式熒光光譜檢測能夠在 400～900 nm 的熒光范圍內(nèi)實現(xiàn) 10～20 nm 的熒光分辨率；單細胞熒光圖像檢測不少于 3 色熒光、不低于 2μm 的空間分辨率；細胞分選通量不低于 5 mL/h，無標記細胞回收率不低于 80%。項目完成時目標儀器電子系統(tǒng)平均故障間隔時間≥1000 小時，技術(shù)就緒度不低于 8 級，得到單位示范應用并提供應用報告不少于 2 家，獲得國際或國家核心技術(shù)發(fā)明專利授權(quán)不少于 5 件。

資助強度：不超過 2000 萬元/項。

方向 2.2 智能胃部膠囊影像自檢系統(tǒng)

研究內(nèi)容：針對胃癌篩查防控的重大需求，突破膠囊胃鏡與移動智能終端連接的技術(shù)屏障及巨量檢查圖片人工閱片的效能瓶頸，以現(xiàn)有膠囊內(nèi)窺鏡為基礎，研發(fā)可連接移動智能終端的新型膠囊胃鏡系統(tǒng)，建立大規(guī)模標準化胃鏡圖像數(shù)據(jù)庫，研發(fā)上消化道解剖部位路標體系及病變類型的智能分類與辨識模型和算法，實現(xiàn)胃部覆蓋部位的智能描繪及病變的智能識別，形成一套無需醫(yī)生干預的智能膠囊胃鏡影像自檢系統(tǒng)，實現(xiàn)胃部影像智能自檢為胃癌早診，篩查提供創(chuàng)新解決方案。

考核指標：膠囊胃鏡拍攝分辨率不小于 480×480 像素點，拍攝頻率不小于 2 幀/秒，移動智能終端接收的無線信號強度不低于-42dbm，接收圖片幀率不低于 2fps。建立標準化胃鏡圖片數(shù)據(jù)庫，圖片數(shù)量大于 1000 萬張，精標注典型病變與解剖部位圖片數(shù)量大于 10 萬張，胃部腫瘤性病變識別準確率高于 95%，實現(xiàn)無人干預的人工智能全自動閱片。項目完成時目標儀器平均故障間隔時間≥300 小時，技術(shù)就緒度不低于 8 級，申請國家醫(yī)療器械注冊認證，獲得國際或國家核心技術(shù)發(fā)明專利授權(quán)不少于 5 件。

資助強度：不超過 2000 萬元/項。

專題三、科學測試分析儀器（專題編號：20210303）

方向 3.1 高分辨率低壓冷凍透射電鏡

研究內(nèi)容：針對我國生命醫(yī)學領域研究對冷凍電鏡高度依賴進口的現(xiàn)狀，開展 100 千伏場發(fā)射冷凍透射電子顯微鏡研究，突破 100 千伏場發(fā)射電子槍、超高穩(wěn)定加速電壓發(fā)生器、大范圍平行光照明、恒定功率磁透鏡、低加速電壓下高性能高靈敏度探測相機的國產(chǎn)化自主研發(fā)等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)場發(fā)射冷凍電子透射顯微鏡智能控制系統(tǒng)和高通量自動化數(shù)據(jù)收集軟件。開展基于自主研發(fā)技術(shù)和系統(tǒng)的工程化和產(chǎn)業(yè)化。

考核指標：整機自主研發(fā)占比>90%。其中加速電壓 100kV，電壓偏移率≤8 ppm；肖特基場發(fā)射電子槍，電子束流5 pA～20 nA；四級聚光鏡平行光照明系統(tǒng)；物鏡球差≤2 mm，色差≤2 mm；成像點分辨率優(yōu)于 3.8 埃，信息極限優(yōu)于 2.5埃；放大倍數(shù)：10～120 萬倍；冷凍樣品自動上樣系統(tǒng)，樣品臺溫度 90K，溫度漂移≤1K；2k×2k 雜合像素直接電子探測系統(tǒng)；全數(shù)字化操作和控制系統(tǒng)。項目完成時目標儀器平均故障間隔時間≥5000 小時，技術(shù)就緒度不低于 8 級，得到單位示范應用并提供應用報告不少于 2 家，獲得國際或國家核心技術(shù)發(fā)明專利授權(quán)不少于 8 件。

資助強度：不超過 3000 萬元/項。

方向 3.2 高靈敏度多元素分析儀

研究內(nèi)容：針對環(huán)境地質(zhì)、食品科學、冶金材料和生理醫(yī)學領域復雜基體中痕量多元素同步精準定性定量檢測需求，開展高靈敏度多元素分析儀關(guān)鍵技術(shù)研究。突破樣品自動化處理、進樣接口抗干擾、離子高效傳輸、元素定性定量檢測等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)快速前處理裝置、抗污染型進樣接口、高效離軸式離子傳輸系統(tǒng)及高靈敏度元素分析系統(tǒng)等關(guān)鍵部件，完成高靈敏度多元素分析儀整機集成，并開展應用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標：研制出相應儀器，質(zhì)量范圍優(yōu)于 2 amu～255amu；質(zhì)量軸穩(wěn)定性≤0.05 amu/24h；分辨率 0.6 amu～0.8 amu；

檢出限：Be < 1 ppt，In < 0.4 ppt，Bi < 0.4 ppt；靈敏度：Be >15M cps/ppm，In > 200M cps/ppm，Bi > 100M cps/ppm；短期穩(wěn)定性（RSD）< 2%；長期穩(wěn)定性（RSD）< 3%；動態(tài)范圍10

10。項目完成時目標儀器平均故障間隔時間≥2000小時，技術(shù)就緒度不低于 8 級，形成批量生產(chǎn)能力，驗收時銷售量不少于 2 臺，得到單位示范應用并提供應用報告不少于 2 家，獲得國際或國家核心技術(shù)發(fā)明專利授權(quán)不少于 3 件。

資助強度：不超過 1000 萬元/項。

方向 3.3 微波等離子體質(zhì)譜儀

研究內(nèi)容：針對電子信息、新材料和生物醫(yī)藥的超痕量元素分析需求，開展高功率微波等離子體質(zhì)譜儀關(guān)鍵技術(shù)研究，突破穩(wěn)定高效的微波電離、高靈敏四極桿質(zhì)量分析、弱信號采集與干擾校正等關(guān)鍵技術(shù)；開發(fā)微波等離子體源、四極桿質(zhì)量分析器、微弱信號采集與處理系統(tǒng)等關(guān)鍵部件；開發(fā)質(zhì)譜干擾校正模型及樣品分析方法；研制高功率微波等離子體質(zhì)譜儀，并進行應用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標：研制出可用氮氣（空氣）或氬氣作為工作氣體的高功率微波等離子體質(zhì)譜儀；微波等離子體源功率≥800W；穩(wěn)定性 0.1%～0.5%。基體干擾：氧化物離子產(chǎn)率≤3.0%；雙電荷離子產(chǎn)率≤3%；質(zhì)量數(shù)范圍：2 amu～255 amu；

質(zhì)量分辨率<0.8 amu（10%峰高處）；檢測器：大于 8 個數(shù)量級的分析動態(tài)范圍；元素檢出限：9Be≤30 ng/L, 115In≤10ng/L, 209Bi≤10 ng/L，對鹵素檢出限:35Cl＜1μg/L；質(zhì)量穩(wěn)定性≤±0.05u，短期穩(wěn)定性≤3.0%，長期穩(wěn)定性≤5.0%。項目完成時目標儀器平均故障間隔時間≥3000 小時，技術(shù)就緒度不低于 8 級，形成批量生產(chǎn)能力，驗收時銷售量不少于 3 臺，牽頭或參與制定國家標準或團體標準（含規(guī)范）不少于 2 件，實現(xiàn)車載可移動監(jiān)測應用，得到單位示范應用并提供應用報告不少于 2 家，獲得國際或國家核心技術(shù)發(fā)明專利授權(quán)不少于 3 件。

資助強度：不超過 1000 萬元/項。 專題四、計測與電測儀器（專題編號：20210304）

方向 4.1 無標記活體顯微成像儀器

研究內(nèi)容：針對細胞學、病理學、精準醫(yī)療等領域?qū)ζ鞴佟⒔M織、細胞精細結(jié)構(gòu)動態(tài)變化及生命信息傳遞過程實時動態(tài)觀測的需求，開展超分辨無標記活體顯微成像技術(shù)及儀器研究，突破超聲成像、激光掃描多光子熒光和諧波成像，或者寬場偏振、相差、熒光成像等多模態(tài)多參數(shù)無標記顯微成像技術(shù)，以及不同模態(tài)與參數(shù)顯微圖像融合與三維重構(gòu)、混合介質(zhì)折射率失配像差智能校正、三維快速掃描動態(tài)協(xié)同運動控制等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)超分辨無標記活體顯微鏡產(chǎn)品及相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，開展工程化開發(fā)、應用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣，實現(xiàn)在細胞學、病理學、藥理學、精準醫(yī)療等領域的應用。

考核指標：光學成像可獲得小于 200nm 微觀結(jié)構(gòu)信息，探測深度大于 1mm；超聲成像空間分辨率優(yōu)于 10μm，探測深度大于 10mm。2D 成像速度≥30 幀/秒, 3D 成像速度≥8 幀/秒；擁有寬場偏振、相差、熒光，二次、三次諧波和多光子熒光，超聲等兩種以上的成像模式；可實現(xiàn)自適應像差補償和智能校正。項目完成時目標儀器平均故障間隔時間≥1000 小時，技術(shù)就緒度不低于 8 級，形成批量生產(chǎn)能力，并提供 2 臺以上樣機，牽頭或參與制定國家標準或團體標準（含規(guī)范）不少于 2 件，得到單位示范應用并提供應用報告不少于 2 家，獲得國際或國家核心技術(shù)發(fā)明專利授權(quán)不少于 3 件。

資助強度：不超過 1000 萬元/項。

方向 4.2 水質(zhì)綜合毒性生物監(jiān)測儀器

研究內(nèi)容：針對水環(huán)境毒性應急檢測和在線監(jiān)測需求，開展基于電化學活性微生物的電子過程檢測水質(zhì)綜合毒性研究，突破微生物胞外電子傳遞功能蛋白快速表達、生物電信號原位多級放大、生物毒性快速傳感、假陰性有機負荷掩蔽信號智能識別等關(guān)鍵技術(shù)，實現(xiàn)微量毒性污染物快速準確識別，開展生物傳感器、生物電采集系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、算法軟件、整機集成的工程化開發(fā)，針對不同生物毒性檢測場景，研制便攜式水質(zhì)毒性快速檢測裝備和小型原位在線式水質(zhì)急性毒性檢測裝備；通過對多種類型地表水體水質(zhì)綜合毒性長期在線實時監(jiān)測，在水環(huán)境監(jiān)測領域形成應用示范，進行水質(zhì)綜合毒性生物監(jiān)測儀產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標：研制小型原位在線和微型便攜兩種基于電化學活性微生物的水質(zhì)綜合毒性生物監(jiān)測儀各一套，毒性響應時間≤5 min；分別針對重金屬類毒性污染物、酚類毒性污染物和氯類毒性污染物，構(gòu)建不少于 3 種可檢測微克級別污染物的電化學活性微生物（群）；典型無機污染物 Cd(II)和 Pb(II)的檢測限達到 0.05 mg/L，典型有機污染物鹽酸金霉素和阿維菌素的檢測限達到 0.05 mg/L，預警信號/噪聲信號比大于 3；

整機核心部件自主研發(fā)率大于 90%。項目完成時目標儀器平均故障間隔時間≥1000 小時，技術(shù)就緒度不低于 8 級，維護周期大于三個月，飲用水源地開展應用與示范驗證不少于 2處，牽頭或參與制定國家標準或團體標準（含規(guī)范）不少于2 件，獲得國際或國家核心技術(shù)發(fā)明專利授權(quán)不少于 3 件。

資助強度：不超過 1000 萬元/項。

方向 4.3 醫(yī)療用流量、差壓、氧氣傳感器

研究內(nèi)容：針對病毒性肺部感染、肺內(nèi)氣體交換功能衰竭，心胸外科手術(shù)輔助、單純輔助呼吸等領域心肺腦復蘇的呼吸支持，開展有創(chuàng)、無創(chuàng)醫(yī)療呼吸機核心高精度流量、差壓和氧氣檢測傳感器的研究，突破有限元仿真技術(shù)、原子層沉積技術(shù)與深反應離子刻蝕技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠的高精度國產(chǎn)化流量、差壓和氧氣檢測傳感器，并進行工程化開發(fā)、應用示范和產(chǎn)業(yè)化推廣。

考核指標：研制出醫(yī)療用流量傳感器、差壓傳感器與氧氣傳感器。（1）流量傳感器，測量范圍：-200～+200L/min，工作溫度：0℃～+50℃，精度：±2.5%（典型值），重復性：±0.5%（典型值）；（2）差壓傳感器，測量范圍：-500～500Pa (-2～2 inH2O)，工作溫度：-10℃～+60℃，溫度補償范圍：0℃～+50℃，精度：3%（讀數(shù)），重復性：0.5%（讀數(shù)）。

（3）氧氣傳感器，測量范圍：0～100 Vol.% O2，溫度補償：＜2% O2當量（0℃～40℃），響應時間：<15 s 至最大值的90%，工作溫度范圍：-10℃～+60℃。項目完成時目標儀器技術(shù)就緒度不低于 8 級，形成批量生產(chǎn)能力，驗收時銷售直接用于生產(chǎn)相關(guān)醫(yī)療設備的流量、差壓、氧氣傳感器數(shù)量各不少于 500 個（套），得到單位示范應用并提供應用報告不少于 2 家，獲得國際或國家核心技術(shù)發(fā)明專利授權(quán)不少于 3件。

資助強度：不超過 1000 萬元/項。

附　件：

1.技術(shù)就緒度評價標準及細則/uploads/allimg/210722/1-210H2093020291.pdf

2.高質(zhì)量知識產(chǎn)權(quán)分析評議指引/uploads/allimg/210722/1-210H20930301Z.pdf